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논문실적
| 나권형 한외여과모듈을 이용한 초순수 제조시스템 |
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학술지명 대한환경공학회 국내학술대회
저자 백영희,권병수,임재림
발표일 2020-11-11
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초순수 제조공정 최종단계에 사용되는 중공사형 한외여과모듈을 대신하여 나권형 한외여과모듈을 설치하여 여과특성을 조사하였다. 중공사형 여과막 대비 나권형 여과막의 장점은 안정적인 입자제거성능과 낮은 TOC 세정시간이다. 나권형 한외여과막의 빈공간을 최대한 줄여 패킹밀도를 높임으로써 외부유량 및 압력변화에 대하여 안정적인 입자제거 성능을 나타내도록 하였다. 또한, 막모듈의 TOC 세정시간을 줄이기 위해서는 접착부위를 최소화하고 저용출성물질을 적용하였다. 입자제거율 기준은 1ea/mL 으로 유량 100~500LMH 변화에도 나권형은 0.5~0.95ea 로 안정적인 제거율을 나타내었다. TOC 세정시간은 기존 중공사형 42h 대비 나권형은 18h 만에 1ppb이하로 낮아졌다. |
