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카리지필터를 기반으로 하는 고순도 공업용수 생산 시스템
학술지명 대한환경공학회 국내학술대회 저자 이재훈,권병수,임재림
발표일 2020-11-11

초순수는 석유화학, 전자, 반도체, 의료산업 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 특히 우리나라의 경우 반도체, LCD, 석유화학, 철강 등의 주요 산업이 수출액의 40% 이상을 차지하고 있다. 초순수의 수질은 제품의 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 반도체 등 첨단 산업에 사용되는 초순수의 수질 기준은 점점 엄격해지고 있다. 현재 국내의 고순도 공업용수 생산 시스템은 중앙공급시설에서 공급한 정수를 각 사업장에서 전처리, 순수처리, 초순수처리 공정을 통하여 초순수를 생산하고 있다.
  본 연구에서는 고순도 공업용수 생산 시스템 설비 중 전처리 및 순수시설은 중앙공급시스템에 설치하고 초순수시설만 개별사업장에 설치하여 공업용수 생산의 효율성과 경제성을 높이고 이송 배관에서 발생하는 오염물질을 처리하기 위한 카트리지 필터 공정을 추가하여 기존의 수질 기준을 만족할 수 있는 공업용수 생산 시스템에 관하여 연구하였다. 
  카트리지 필터 장착 후 초기에 용출되는 오염물질을 제거하기 위하여 IPA(Isoprophylene Alcohol)와 UPW(ultra pure water)를 사용하였으며 TOC와 입자 용출이 목표 수질로 안정화 되는 시간이 대폭 단축되었다. 또한 Latex bead 입자 주입 실험결과 입자의 농도가 5,000 EA/mL 이상일 때 제거 효율이 약 99%인 것으로 나타났다. 따라서, 본 연구에서 제시하는 새로운 고순도 공업용수 생산 시스템은 기존의 시스템에 비하여 초기 시설 투자 비용 및 시설 운영비 측면에서 경제성이 높고 고순도의 공업용수를 생산할 수 있다고 판단된다.

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