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초순수용 카트리지필터 입자 제거율 성능 평가
학술지명 대한환경공학회 국내학술대회 저자 정준영,이경혁,임재림,권병수
발표일 2019-12-13

산업이 고도화됨에 따라 제조공정에서 요구되는 용수에 대한 수질기준이 높아지고 있으며, 특히 반도체, 제약 등의 고부가가치 제품을 제조하는 산업에서 사용되는 초순수의 품질은 제품의 최종 품질에 중요한 역할을 한다. 카트리지필터는 재질변경에 따라 다양한 종류의 제품을 제작할 수 있으며, 초순수 제조공정에 적용 시에 UF전단에 설치되면 UF에 가해질 수 있는 부하를 최소화하여 효율적인 운전이 가능하다. 따라서 초순수 제조공정에 대한 카트리지필터의 수요 및 요구수준이 높아지고 있다.1) 
   초순수공정의 설계를 외국기업에서 주도함에 따라 초기 진입된 Pall, Entegris 등 외국산 제품이 현재 대부분 공정에서 사용되고 있다. 투자비용의 절감을 위해서는 외산제품을 대체할 수 있는 국산기술을 보유해야한다. 현재 국내 기업에서 초순수 제조공정에 적용이 가능하고 입자를 nominal급(제거율 99.00%)으로 제거할 수 있는 제품을 개발 중에 있으며, 해당 제품을 평가하여 필터의 성능과 개선사항을 파악하는 것이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 국내기업에서 제작된 초순수용 카트리지필터의 성능평가를 수행하였으며, 이 결과를 통해서 필터의 성능확인 및 개선점을 도출하고자 하였다.

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