초순수용 카트리지필터 입자 제거율 성능 평가 |
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학술지명 대한환경공학회 국내학술대회
저자 정준영,이경혁,임재림,권병수
발표일 2019-12-13
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산업이 고도화됨에 따라 제조공정에서 요구되는 용수에 대한 수질기준이 높아지고 있으며, 특히 반도체, 제약 등의 고부가가치 제품을 제조하는 산업에서 사용되는 초순수의 품질은 제품의 최종 품질에 중요한 역할을 한다. 카트리지필터는 재질변경에 따라 다양한 종류의 제품을 제작할 수 있으며, 초순수 제조공정에 적용 시에 UF전단에 설치되면 UF에 가해질 수 있는 부하를 최소화하여 효율적인 운전이 가능하다. 따라서 초순수 제조공정에 대한 카트리지필터의 수요 및 요구수준이 높아지고 있다.1) |