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반도체용 초순수 생산시설 전략물자 현황
학술지명 대외의존성 탈피를 위한 『반도체용 초순수 생산기술 경쟁력 확보』국회 토론회 저자 임재림
발표일 2019-11-05

o 최근 일본은 반도체 핵심소재인 불화수소, 폴리아미드, 레지스트 3개 특별조치 품목을 개별허가 의무화(‘19.7.4~)하였으며, 백색 국가 목록에서 배제(‘19.8.28~)하였으나, 일부 국산화 추진 중
  o 초순수는 이론 순수에 근접시킨 고순도 물로 인간이 만들 수 있는 세상에서 가장 깨끗한 물이며, 20~30개의 다양한 수처리 단위공정의 조합으로 구성되며, 정밀분석장치 및 기술이 필요함
  o 글로벌 초순수 시장 현황은 ’25년말까지 61억 2,000만달러로 연평균성장율(CAGR) 7.1%로 성장 예상되며, 현재 세계 초순수 시장의 62% 이상이 아태지역에 집중됨
  o 국내 초순수 시장은 ’10년 30만m3/일에서 ‘20년 50만m3/일로 증가 예상되며, ‘10년 0.7조원에서 ‘20년 1.2조원으로 성장 전망됨
  o 단위 공정별 장치는 미국·유럽의 경쟁 제품 있으나 일본의 의존도가 절대적이며, 국산품은 품질문제로 인해 현장 적용 실적 없음
  o 초순수 생산기술 R&D 필요성
   - 단위공정과 소재의 국산화뿐만 아니라 전체 초순수 시스템에 대한 영향을 고려한 종합적 엔지니어링 기술개발 필요
   - 일본(통산성) 및 미국(국방부)의 경우 국가주도로 초순수 기술 개발 추진함
   - 국내의 경우 산자부에서 일부 국책연구과제 추진하였으나, 순수급으로 초순수 기술개발을 위해 추가적인 보완 및 성능검증 필요
  o 초순수는 국내기술수준이 낮고 수입다변화 가능성이 낮아 새로운 우리 주도의 공급망 창출 필요함 
  o 대외 의존도 탈피를 위한 대응방안으로 국산 소재의 우수성 및 대체가능성 여부를 검증할 수 있는 실증플랜트 평가를 위한 실증규모 플랜트 구축 
  o 핵심요소기술은 중소기업을 중심으로 개발하고, 이를 시스템화하고 적용하는 부분에서 사용자인 대기업이 함께 적극적으로 참여

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