The ultrapure water is one of the industrial water used in industrial activity and required in the advanced technology integrated industry. It is produced by combined process including filtration, ion exchange processes, the reverse osmosis (RO) process, degassing (DG) process and UV-oxidation (UVox) process. 
An ultrapure water production process consists of 15-20 different water treatment unit process. In this study, a pilot plant was built and operated to research the design parameters for the individual process. 
Pilot plant was set up and operate the ultrapure water. Through the operation, we studied the design parameters for the individual process. When using a variety of processes, we optimize the combination of 19 kinds.
As a result of this study, the optimal plan considering cost, water quality, and facility stability was selected. The stability and economic feasibility were evaluated about the final 11 process combinations.
In this paper, the technique that determines efficient process combinations for the ultrapure water production was studied.