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논문실적
| 초순수 생산을 위한 단위공정별 설계특성을 고려한 수질예측 방법 |
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학술지명 대한환경공학회
저자 권병수,이경혁,장암
발표일 2018-07-01
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본 연구는 맞춤형 고순도 공업용수 생산을 위한 전산모사를 통해 목적하는 수질을 예측하여 목표수질의 달성여부를 검증하고자 한다. 최종수질의 예측을 위해서는 공정에 따른 수질예측이 가능한 전산모사 프로그램의 구축이 필요하다(전산 모사 구축 시 수질 및 수량에 대한 부분이 고려되어야 한다). 원수 및 목표수질이 선정이 되면 이에 따른 공정선정이 필요하 여, 개별공정에 대한 전산모사에 대한 로직이 구성하였다. 전산모사를 통해 반도체급 초순수 공정을 구성하여 최종수질의 예 측이 가능하다. 전산모사의 수질예측과 초순수 실증프랜트(25 m^3/일)의 수질 예측을 비교한 결과 비저항, TOC 등 일부 항목은 유사한 결과가 도출되었으나, DO, 실리카, 입자, 보론 등은 다소 차이가 발생하였다. DO는 0.5 ppb(전산모사) / 0 ppb(실증 플랜트) 차이가 있었으며, 실리카는 0.5 ppb(전산모사) / 0.25 ppb(실증플랜트) 차이가 있었다. 보론은 0.05 ppb(전산모사) / 0.024 ppb(실증플랜트)로 다소 차이가 있었다. 수질의 차이는 최대 0.5 ppb (DO) ~ 0.03 ppb (TOC) 수준이다. 본 연구는 산업 용수 분야의 특수성으로 인해 공정 및 수질 등의 접근이 어렵고 운영결과의 공개가 어려운 산업용수 분야에 대해 실증플랜 트 규모의 플랜트를 구축하여 연구한 사례로 이를 기반으로 한 산업용수의 필요한 핵심기술 개발과 최적화된 산업용수 처리 시설 구축을 위해 기반 자료로 활용이 가능토록 기여하고자 한다. |
