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논문실적
| 초순수 생산플랜트 단위공정별 효율 비교평가 |
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학술지명 SWG학회
저자 이경혁,오진석,임재림,이영주
발표일 2015-10-01
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반도체 및 디스플레이 산업에 있어 고순도의 다량의 정제된 물의 사용이 불가피하다. 이렇게 기존의 정수를 추가 처리하여 산업활동에 사용하는 물을 초순수라고 하며, 산업체의 업종별로 요구되는 수질은 다양하다. 본 연구에서는 25㎥/day 규모의 초순수 시설을 운영 및 평가하였다. 초순수 시설은 크게 전처리공정(pretreatment system), 순수처리 공정(Make-up system), 초순수처리 공정(sub system)으로 나뉘며 적용되는 많은 공정을 통해 유입된 원수를 고순도의 물로 생산하게 된다. 초순수 시설 운영에 있어서 과도한 용존산소(DO)는 이온교환수지의 산화반응을 일으켜 수지 수명을 단축시키며, 박테리아 성장으로 인하여 다른 공정에도 큰 영향을 미치게 된다. 이와 같은 문제를 방지하기 위하여, 막탈기공정(MDG) 및 진공탈기공정(VDG)를 적용하여 용존산소(DO)의 제거효율을 평가하였다. 또한, 실리카 및 보론과 같은 이온들을 제거하기 위하여 역삼투공정(RO)의 여러 조합(2단, 3단 역삼투 공정)을 통하여 제거효율을 평가하였다. 추가적으로, 현재 운영되고 있는 초순수 공정 중, 혼상탑(MBT)공정의 잦은 화학적 재생으로 인하여 운영비가 증대되고, 운영에 다소 어려움이 있다. 이런 문제점을 극복하기 위하여 화학적 재생이 없는 전기탈이온장치(EDI)공정을 적용하여 혼상탑(MBT)공정과 비교하였다. 이와 같은 공정 별 평가를 통하여, 좀 더 효율적이고 안정적인 초순수 시설 운영을 하고자 한다. |
