초순수의 기술 개발현황으로는 막기술과 전기화학기술, 미량성분 분석기술등이 있다. 막 기술로는 RO(Reverse Osmosis), 탈기막, 이온교환막이 있으며, 전기화학 기술로는 전기이온제거장치, 플라즈마 기술이 있다. 또한 미량성분 분석 기술로는 Metal, Boron, SiO2, Particle에 대한 분석 기술이 있다.
초순수 제조장치 및 방법과 관련된 특허는 총 650건으로 조사되었다. 이 중 일본 특허는 330건, 51%로 가장 큰 비율을 점유하고 있으며 한국은 128건으로 20%를 점유하고 있고, 미국은 112건으로 17%를 점유하고 있는 것으로 미루어 볼 때 초순수 제조장치 및 방법과 관련된 기술은 일본에 의해서 주도되고 있음을 알 수 있다.
초순수 기술의 원천 핵심 기술은 미국, 유럽이 보유하고 있으며, 상용화 기술은 일본이 발달해 있다. 국내에는 원천 기술이나 상용화 기술 없이 외국 설계사의 시스템을 모방하는 수준이다.
초순수 분야는 최근 산업 고도화에 따라 수질 요구조건이 다양해지고 있어 이에 따른 기술 발전이 기대되는 산업이며 향후 성장가능성 또한 큰 분야이다. 그러나 초순수 산업의 현황은 Kurita. Organo, Resui, GE, Veolia 등 다국적 물관리 기업들에 의해 선점되어 있다. 따라서 기반기술이 부족하고 영세한 국내 시장 활성화를 위해서는 기술의 폐쇄성으로 인한 기술개발의 어려움을 극복하기 위한 산업체 연계 원천 및 핵심기술의 공동개발 및 실용화를 적극적으로 추진할 필요가 있다.
