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논문실적
| 반도체용 초순수 생산을 위한 최적공정 비교분석 |
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학술지명 대한환경공학회
저자 권병수,이영주,이경혁,임재림
발표일 2014-08-21
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순수 및 초순수 제조 분야는 최근 산업 고도화에 따라 수질 요구조건이 다양해지고 있어 이에 따른 기술 발전이 기대되는 산업이며 향후 성장가능성 또한 높은 분야이다.1 또한 초순수는 사용목적, 즉 생산품에 따라 요구하는 수질이 다르고 고순도의 수질을 요구하므로 업종별로 약 5 ∼ 20 여개의 단위 공정을 이용하므로 제조과정이 매우 복잡하고 높은 설계기술을 요구한다.2 본 연구에서는 초순수를 사용하는 업종 중 가장 고순도의 수질을 요구하는 반도체용 초순수의 제조에 있어, 가장 경제적인 공정을 결정하기 위해, 다양한 조합 공정별 수질 및 경제성을 비교 평가하였다. |
