초순수 제조공정에서 이온교환공정 설계인자 평가 |
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학술지명 대한기계학회
저자 임재림,권병수,이경혁,이영주
발표일 2014-07-16
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양이온 교환수지공정의 유입유량을 변경하여 수지를 통과하는 유속(선속도)을 변경하여 이온교환능을 평가하였다. 수지의 파과기준은 Na 이온 500ppb 유출 농도를 기준으로 설정하였으며, Fig 2.과 같이 이론적인 이온교환능력인 200 g CaCO3/L-Resin을 기준으로 실제 교환능은 34-40% 수준이 적용되고 있음을 확인하였다. 이렇게 실제 이온교환수지의 능력에 비해 낮은 효율을 나타내는 이유는 반응조 내부의 수리학적 흐름등의 영향 때문인 것으로 판단된다. 음이온 교환수지의 경우 파과 기준을 전도도 기준으로 7 ㎲/cm 로 설정하여 교환능을 평가하였다. |