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HOMER&D성과논문실적
논문실적
| 초순수 실증플랜트 운영 백서 |
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학술지명 -
저자 김경환,전영수,탁세완,김광렬,이재범,윤수범,권병수,박준기,조현웅,안태성,김지혜,정경수,윤지원,김관석,오희진,이현우,정경석,안선아
발표일 2025-12-30
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반도체급 초순수 생산 주요공정 및 설계-운영 100% 국산화, 소·부·장 70% 국산화를 위한 연구를 통해 운영된 초순수 실증플랜트의 현황, 시운전, 매뉴얼, 운영 현황 등의 내용을 도서로 제작하였다. |
