Ultrapure water (UPW) plays an essential role in advanced industrial processes, including semiconductor manufacturing, display production, and pharmaceutical applications. In particular, semiconductor fabrication requires water high purity levels such as parts per trillion (ppt) of ionic, organic, and particle, as even trace amounts can critically affect yield, device performance, and overall reliability of production. Accordingly, the UPW systems are designed as complex, pretreatment processes, combining reverse osmosis (RO), ultrafiltration (UF), ion filtration, and degasification units. Given such complexity, ensuring stable operation without interruption is a critical challenge in the UPW management. Availability and reliability analyses are representative tools in improvement of operational stability, widely adopted in many industries such as petrochemical, power generation, and so on. However, the application in UPW production systems has not yet been sufficiently studied and standardized. Availability analysis quantitatively assesses the probability that a system or component is operational at a given time, integrating failure frequency and repair time data. Reliability analysis, on the other hand, focuses on the probability that a system performs without failure over a specific period under defined conditions. Therefore, these approaches enable strategic maintenance planning, redundancy optimization, and bottleneck identification, directly leading to improved efficiency, minimization of unexpected risk and maximized process utilization. This study investigated the applicability of these approaches on the UPW process. Preliminary findings suggest that while operational reliability is recognized as an essential factor, practical application of formal availability or reliability assessments is limited. Most facilities rely on design-stage conservative redundancy or empirical preventive maintenance schedules without quantitative evaluation of their cost-effectiv