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초순수 시장현황 및 공정 개요
학술지명 대한환경공학회 2021년 국내학술대회 저자 권병수
발표일 2021-11-04

1.1 순수 및 초순수 정의   1
1.1.1 초순수 정의   1
1.1.2 초순수 수질기준 국내 현황   4
1.1.3 초순수 수질기준 국외 현황    9
1.1.4 국내외 시장규모    15

1.2 초순수 기술 동향   17
1.2.1 국내 초순수 기업 현황   17
1.2.2 국외 초순수 기업 현황   25
1.2.2 국내외 초순수 기술 현황   34

1.3 초순수 사용 사례   46
1.3.1 반도체 공정 개요   46
1.3.2 반도체 세정공정 초순수 사용 현황   51
1.3.3 반도체용 초순수 공정조합 방법 및 사례   52
1.3.4 기타산업 초순수 사용 현황   54
1.3.5. 초순수 개별공정별 수질현황    70
1.3.5. 사업비 분석   70
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